基础信息Product information

产品名称：上海苏州杭州合肥南京高低温真空探针台

产品型号：

更新时间：2025-03-12

产品简介：

坚融实业——一家致力于为祖国用户提供上海苏州杭州合肥南京高低温真空探针台仪器设备、测试方案、技术培训、维修计量全面服务的仪器设备综合服务商。

产品特性Product characteristics

专业仪器设备与测试方案供应商——上海坚融实业有限公司JETYOO INDUSTRIAL & 坚友（上海）测量仪器有限公司JETYOO INSTRUMENTS，为原安捷伦Agilent【现是德KEYSIGHT】品牌技术经理-坚JET与吉时利KEITHLEY【现泰克Tektronix】品牌产品经理-融YOO于2011年共同创办，专注工业测试领域十六年，志在破旧立新！*进口仪器设备大多数厂家仅在国内设销售点，但技术支持薄弱甚至没有，而代理经销商也只做商务，不做售前技术支持/测试方案和售后使用培训/维修校准的空白。我们的技术型销售均为本科以上学历，且均有10年以上测试行业经验，以我们*进*的经营理念，与客户互惠互利合作双赢，重在协助用户采购与技术工程师的工作，提供较有竞争力的供应链管理与售前售后技术支持。坚融实业——一家致力于为祖国用户提供上海苏州杭州合肥南京高低温真空探针台仪器设备、测试方案、技术培训、维修计量全面服务的仪器设备综合服务商。

上海苏州杭州合肥南京高低温真空探针台测试系统特点/应用

2至6英寸样品台

高真空腔体

防辐射屏设计，样品温度均匀性更好

77K-675K高低温环境

兼容IV/CV/RF测试

外置多探针臂，移动行程大

经济实用，可无缝升级

极低温测试

因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。

高温无氧化测试

当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。

晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。

腔体规格

样品台尺寸：2英寸/4英寸/6英寸

样品固定：弹簧压片

观察窗口：2英寸/4英寸/6英寸

真空度：10-6torr

探针臂接口：4~6个探针臂接口

其他接口：电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口

制冷方式：液氮/液氦/制冷机

温度范围：77K到573K/4.5K到573K

温控精度：0.1K/0.01K/0.001K

稳定性：±1K/±0.1K/±0.01K

外形：880mm长*880mm宽*600mm高/980mm长*980mm宽*600mm高

重量：约100千克/120千克

光学系统

显微镜类型：单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜

放大倍率：16X-200X/20X-4000X

移动行程：水平360度转，Z轴行程50.8mm

光源：外置LED环形光源/同轴光源

CCD：200万像素/500万像素/1200万像素

探针臂

X-Y-Z移动行程：50mm*50mm*50mm

结构：外置探针臂，真空波纹管结构

移动精度：10微米/1微米

线缆：同轴线/三轴线/射频线

漏电精度：10pA/100fA/10fA

固定探针：弹簧固定/管状固定

接头类型：BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子

频率支持：DC-67GHZ

针尖直径：0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

其他组件

真空组件

分子泵组/机械泵/离子泵

冷源组件

50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷机

可选附件

超高温配件

显示器

转接头

射频测试配件

屏蔽箱

光学平台

镀金卡盘

光电测试配件

高压测试配件

分子泵组

激光系统

气敏测试配件

上海苏州杭州合肥南京高温加热探针台系统特点/应用

最大可用于8英寸以内样品测试

同轴丝杠传动结构，线性移动

可满足500度高温测试

温度稳定性高

兼容IV/CV/RF测试

结构设计简单合理，操作方便

探针台可根据客户要求定制

台体规格

样品台尺寸：4英寸/6英寸/8英寸

水平旋转：可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置

X-Y移动行程：4英寸*4英寸/6英寸*6英寸/8英寸*8英寸

X-Y移动精度：10微米/1微米

样品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环

针座平台：U型针座平台，最多可放置8个探针座

背电极测试：样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极

温度范围：室温到300度/室温到400度/室温到600度

温控精度：1度/0.1度/0.01度

稳定性：±1度/±0.1度

外形尺寸：400mm长*400mm宽*600mm高/580mm长*480mm宽*600mm高/840mm长*600mm宽*700mm高

重量：约30千克/60千克/100千克

光学系统

显微镜类型：单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜

放大倍率：16X-200X/20X-4000X

移动行程：X-Y轴行程2英寸*2英寸/水平360度旋转，Z轴行程50.8mm

光源：外置LED环形光源/同轴光源

CCD：200万像素/500万像素/1200万像素

定位器

X-Y-Z移动行程：12mm*12mm*12mm

移动精度：10微米/2微米/0.7微米/0.5微米

吸附方式：磁力吸附/真空吸附

线缆：同轴线/三轴线

漏电精度：10pA/100fA/10fA

固定探针：弹簧固定/管状固定

接头类型：BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子

针尖直径：0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

针尖材质：钨钢/铍铜

可选附件

水冷装置

显示器

转接头

射频测试配件

屏蔽箱

光学平台

镀金卡盘

光电测试配件

高压测试配件

显微镜快速倾仰装置

激光系统

探针卡夹具

上海苏州杭州合肥南京高低温探针台测试系统特点/应用

最大可用于12英寸以内样品测试

采用密闭腔结构，屏蔽外部电信干扰同时保持氮气正压环境下样品在低温时无结霜

优化的腔体保温结构可以极大的减少液氮消耗量

可升降调节适合加装探针卡

可搭配多种类型显微镜

结构?？榛杓?，可无缝升级

探针台可根据客户要求定制。

台体规格

样品台尺寸：4英寸/6英寸/8英寸

水平旋转：可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置

X-Y移动行程：4英寸*4英寸/6英寸*6英寸/8英寸*8英寸

X-Y移动精度：10微米/1微米

样品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环

针座平台：U型针座平台，最多可放置8个探针座

背电极测试：样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极

温度范围：室温到300度/室温到400度/室温到600度

温控精度：1度/0.1度/0.01度

稳定性：±1度/±0.1度

外形尺寸：400mm长*400mm宽*600mm高/580mm长*480mm宽*600mm高/840mm长*600mm宽*700mm高

重量：约30千克/60千克/100千克

光学系统

显微镜类型：单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜

放大倍率：16X-200X/20X-4000X

移动行程：X-Y轴行程2英寸*2英寸/水平360度旋转，Z轴行程50.8mm

光源：外置LED环形光源/同轴光源

CCD：200万像素/500万像素/1200万像素

定位器

X-Y-Z移动行程：12mm*12mm*12mm

移动精度：10微米/2微米/0.7微米/0.5微米

吸附方式：磁力吸附/真空吸附

线缆：同轴线/三轴线

漏电精度：10pA/100fA/10fA

固定探针：弹簧固定/管状固定

接头类型：BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子

针尖直径：0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

针尖材质：钨钢/铍铜

可选附件

加热台

显示器

转接头

射频测试配件

屏蔽箱

光学平台

镀金卡盘

光电测试配件

高压测试配件

显微镜快速倾仰装置

激光系统

探针卡夹具